粉體行業(yè)在線展覽
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立式爐
直接聯(lián)系
中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第四十八研究所
湖南
面議
電子科技
立式爐
599
序號(hào) | 指標(biāo)名稱(chēng) | 主要技術(shù)指標(biāo) |
1 | 晶圓尺寸 | 8英寸 |
2 | **溫度 | 1100℃（石英） |
1250℃（碳化硅） | ||
3 | 控溫精度 | ≤±0.5℃ |
4 | 溫度均勻性 | ≤±1℃ |
5 | 升溫速率 | 0-10℃/min |
6 | **裝載量 | 170片 |
7 | 有效工作區(qū)域 | Φ230mm×780mm |
8 | 溫區(qū)數(shù)量 | 5 |
9 | 氣路數(shù)量 | 4 |
10 | 片內(nèi)均勻性（WIW） | ≤2% |
11 | 片間均勻性（WTW） | ≤2% |
12 | 批間均勻性（RTR） | ≤2% |
13 | 新增顆粒 | ≤50（≥0.16μm） ≤30（≥0.2μm） |
14 | 金屬污染 | <5E10 atms/cm2 |
產(chǎn)品咨詢(xún)
立式爐
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