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LDI激光直寫光刻機

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科毅科技股份有限公司

廣東

產品規格型號
參考報價：

面議

品牌：

科毅科技

型號：

LDI激光直寫光刻機

關注度：

127

產品介紹

項目

參數

支持基板尺寸

12inch（兼容8inch）

分辨率

L/S 2/2μm；Hole 4μm

套刻精度

正面±0.6μm、背面優于2μm

光源類型

LD

產能

40WPH


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