粉體行業(yè)在線展覽
ION WAVE 10 批次等離子系統(tǒng)
面議
科毅科技
ION WAVE 10 批次等離子系統(tǒng)
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ION WAVE 10 批次等離子系統(tǒng)
與射頻等離子體相比,微波會產(chǎn)生更高密度的等離子體(離子/基團)和更低的基板感應(yīng)偏壓。由于這一事實,預(yù)計微波等離子體中光刻膠的灰化率更高,等離子體損傷更低。IoN Wave 10 等離子系統(tǒng)專為研發(fā)和小規(guī)模生產(chǎn)應(yīng)用而設(shè)計。PVA TePla 是一種經(jīng)過驗證且值得信賴的全球資源,可提供高質(zhì)量、可靠、經(jīng)濟高效且易于操作的氣體等離子系統(tǒng)。它為各種應(yīng)用提供了一些***和創(chuàng)新的解決方案。
典型應(yīng)用
光刻膠灰化和除渣
在較低溫度下去除SU-8
鈍化層蝕刻
設(shè)備解封
表面清潔
表面活化
功能包括:
小腳印桌面設(shè)計
即插即用自安裝
帶液晶觸摸屏和鍵盤的工業(yè)計算機。基于Windows 的操作系統(tǒng)
圖形用戶界面(GUI) 軟件符合CFR Title 21 Part 11 和Semi E95-1101
多級用戶訪問
軟件用于快速和多功能步驟控制的配方編輯器
板載診斷功能和報警記錄
通過以太網(wǎng)進行遠程過程監(jiān)控
基于網(wǎng)絡(luò)的在線模擬/培訓(xùn)/支持
F54 自動化薄膜測繪
F50 系列 自動化薄膜測繪
ION WAVE 10 批次等離子系統(tǒng)
DektakXT探針式輪廓儀
臺式薄膜厚度測量系統(tǒng)
IoN 100 筒式等離子體反應(yīng)器
三維光學(xué)輪廓儀
晶圓清洗蝕刻機
巨量轉(zhuǎn)移晶圓植球機
晶圓劃片機
LDI激光直寫光刻機
全自動勻膠/顯影設(shè)備
熱絲CVD金剛石膜沉積設(shè)備HF450
XRD-晶向定位
CVD 真空化學(xué)氣相沉積設(shè)備
等離子體增強化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)CVD
BTF-1200C-RTP-CVD
自動劃片機
FM-W-PDS
Gasboard-2060
等離子化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)-PECVD
Pentagon Qlll
定制-電漿輔助化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)-詳情15345079037