粉體行業在線展覽
F50 系列 自動化薄膜測繪
面議
科毅科技
F50 系列 自動化薄膜測繪
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F50 系列
自動化薄膜測繪
Filmetrics F50 系列的產品能以每秒測繪兩個點的速度快速的測繪薄膜厚度。一個電動R-Theta 平臺可接受標準和客制化夾盤,樣品直徑可達450毫米。(耐用的平臺在我們的量產系統能夠執行數百萬次的量測!)
測繪圖案可以是極座標、矩形或線性的,您也可以創造自己的測繪方法,并且不受測量點數量的限制。內建數十種預定義的測繪圖案。
不同的F50 儀器是根據波長范圍來加以區分的。標準的F50是****的產品。一般較短的波長(例如, F50-UV) 可用于測量較薄的薄膜,而較長的波長則可以用來測量更厚、更不平整以及更不透明的薄膜。
包含的內容:
集成光譜儀/光源裝置
光纖電纜
4", 6" and 200mm 參考晶圓
TS-SiO2-4-7200
BK7 參考材料
整平濾波器(用于高反射基板)
真空泵
備用燈
型號 | 厚度 | 波長 |
---|---|---|
F50 | 20nm-70μm | 380-1050nm |
F50-UV | 5nm-40μm | 190-1100nm |
F50-NIR | 100nm-250μm | 950-1700nm |
F50-EXR | 20nm-250μm | 380-1700nm |
F50-UVX | 5nm-250μm | 190-1700nm |
F50-XT | 0.2μm-450μm | 1440-1690nm |
F50-s980 | 4μm-1mm | 960-1000nm |
F50-s1310 | 7μm-2mm | 1280-1340nm |
F50-s1550 | 10μm-3mm | 1520-1580nm |
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