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邊緣濕法刻蝕設備

邊緣濕法刻蝕設備

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盛美半導體設備(上海)股份有限公司

美國

產品規格型號
參考報價:

面議

品牌:

盛美半導體

型號:

邊緣濕法刻蝕設備

關注度:

1314

產品介紹

主要優勢

用于晶圓邊緣多種不同疊加薄膜層的刻蝕清洗,提高先進工藝的晶圓邊緣良率

高刻蝕精度,刻蝕寬度大小可調

自主**技術可做到更精準高效的晶圓對準,控制精度高、均勻性高,可實現精準邊緣刻蝕

高產能,低化學品消耗

設備和工藝可擴展至10nm以下工藝技術節點

對下層材料刻蝕具有高選擇比,對晶圓無損傷的特點

出色的晶圓邊緣清洗能力,更好的顆粒控制

可靈活應用于多種襯底材料,包括重摻雜片、Bonding 片、超薄片等


特性和規格

適用于12寸晶圓邊緣清洗

*多可配置4個Lord Port

可配置12個工藝腔體

真空夾盤對晶圓進行夾持

可對晶圓正背面邊緣進行清洗,*多可配備5種藥液進行清洗工藝

每個腔體均配置高精度的晶圓對中單元

可配置高精度的晶圓邊緣檢測單元


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