粉體行業在線展覽
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飛秒激光增強玻璃蝕刻通孔機（FLEE-TGV）
直接聯系
廣東大族半導體裝備科技有限公司
廣東
面議
大族半導體
飛秒激光增強玻璃蝕刻通孔機（FLEE-TGV）
517
主要特點：
設備特點：
1、國內率先導入TGV工業量產
2、加工直徑**12’’、厚度≤1mm
3、高性能、高可靠性飛秒激光
4、高性能控制系統，實現高效率高精度加工能力
5、搭載自主研發光學模組，適應多種材料，孔圓度≥95%
6、多種軌跡生成與加工方式，智能化人機交互
主要參數:
| 主要參數 | 加工尺寸 | ≤205*205mm |
| 加工速度 | 80-120mm/s | |
| 加工精度 | ±5μm | |
| 平臺參數 | 400mm*250mm | |
| 激光器參數 | 20W IR PS | |
| Tact time | 效率：≥650個/S | |
| 稼動率 | 0.98 | |
| 良率 | >98% |
加工效果：
6英寸半自動刀輪切割設備
AOI濾光片檢測設備
Mini LED專用切割設備
半導體晶圓級分選編帶設備
碳化硅裂片機
12英寸半自動刀輪切割設備
精密激光切割機
飛秒激光增強玻璃蝕刻通孔機（FLEE-TGV）
全自動激光打孔機
12英寸雙軸全自動刀輪切割設備
全自動晶圓ID打標設備
全自動激光（IC）打標設備
