粉體行業(yè)在線展覽
MW-1070微波等離子設(shè)備——10kw
面議
穩(wěn)正科技
MW-1070微波等離子設(shè)備——10kw
769
生長臺尺寸:φ100mm
控制方式:觸摸屏控制,PLC工藝菜單運行(手動或自動)
微波電源: MUEGGE 10KW 2.45GHz
真空泵:Leybold D16C / KYKY RV-4三相旋片泵
流量計:日本KOFLOC
H2(1000sccm) 、CH4(50sccm)、O2(10sccm)、N2(10sccm)
腔體冷卻方式:水冷
測溫:紅外測溫儀300-1400℃
機臺尺寸:1215mm(長)*1114mm(寬)*2000mm(高)
供電:380V 三相五線
能耗:16kw
熱絲CVD金剛石膜沉積設(shè)備HF450
XRD-晶向定位
CVD 真空化學(xué)氣相沉積設(shè)備
等離子體增強化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)CVD
BTF-1200C-RTP-CVD
自動劃片機
FM-W-PDS
Gasboard-2060
等離子化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)-PECVD
Pentagon Qlll
定制-電漿輔助化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)-詳情15345079037