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DUV/EUV光罩除塵機
直接聯系
科毅科技股份有限公司
廣東
面議
科毅科技
70
項目
參數
應用范圍
用于3~5～200nmEUV
同時兼容KrF/ArF
配備
壓縮空氣濾清器、除靜電離子風、X-Ray除靜電系統
風刀角度
可手動調整高度&角度
風量壓力控制
電子式氣壓控制
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