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粉體焙燒爐

>高溫氧化爐

品牌展臺(tái)：賽瑞達(dá)智能電子裝備（無錫）有限公司

產(chǎn)品

高溫氧化爐

直接聯(lián)系

賽瑞達(dá)智能電子裝備（無錫）有限公司

江蘇

產(chǎn)品規(guī)格型號(hào)

參考報(bào)價(jià)：

面議

品牌：

賽瑞達(dá)

型號(hào)：

高溫氧化爐

關(guān)注度：

618

產(chǎn)品介紹

SiC與GaN晶圓氧化工藝設(shè)備，工藝時(shí)間短，生產(chǎn)效率高，具有出色的工藝性能。

設(shè)備特點(diǎn)

◎ 型號(hào):OXIDE150

◎ 工藝溫度:1380℃~1500℃

◎ 工藝氣體:H?/N?O/NO/O?/Ar?/N?

◎ 工藝壓力:100mbr-Atmospher

◎ 晶圓尺寸:≤150mm

◎ 產(chǎn)能:25或50 片/批

◎ 正常UP Time:98%

◎ 全自動(dòng)化系統(tǒng)和MES服務(wù)

產(chǎn)品咨詢

高溫氧化爐

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請(qǐng)?zhí)顚懩膯挝?公司名稱：*

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高溫氧化爐 - 618

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