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瑞典Mycronic 掩膜計量系統(tǒng)Prexision-MMS

詳細介紹

掩膜計量系統(tǒng)

主要優(yōu)勢

*更佳的配準: 30%

*更好地將掩膜套合到掩膜上: 20%

*更短的周轉(zhuǎn)時間: 30%

。 **的創(chuàng)新性Prexision平臺具備優(yōu)異的精準度與可重復性

。 用我們的**技術(shù)改善配準測量。

。因為**次測量的結(jié)果精確無誤，這大大給您節(jié)省了周轉(zhuǎn)時間。

。 充分發(fā)揮我們的Prexision光刻機的潛力。

基于*精確的Prexision平臺打造出的Prexision-MMS將對大面積的配準測量帶到了全新的高度。現(xiàn)在，您可以證明您的光掩膜質(zhì)量究竟有多好了！

為充分利用其性能，您的測量系統(tǒng)性能對于精密調(diào)校光刻機也是極其重要的，這樣您的光掩膜才能以**的質(zhì)量描繪出來。

Prexision-MMS 提供兩個型號。G8型**可處理用于8代顯示器玻璃尺寸的掩模尺寸。對于G10型，**可處理11代顯示器尺寸。

技術(shù)指標 Prexision-MMS

掩膜對掩膜套合3σ[nm] : 40

配準3σ[nm] : 65

關(guān)鍵尺寸可重復性3σ[nm]: 50

**尺寸: G8