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FSM128非接觸薄膜應(yīng)力測試

直接聯(lián)系

賽倫科技

美國

產(chǎn)品規(guī)格型號
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面議

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1195

產(chǎn)品介紹

美國FSM應(yīng)力儀

-----應(yīng)力測試專家,為行業(yè)**應(yīng)力儀!

Semi-Auto(半自動) Fully-Auto(全自動)

* 自動切換的雙光路波長:650納米和780納米

* 測量方式:直徑方向的掃描,可提供形貌圖

* 掃描范圍:對于200mm的硅晶圓為194mm

* 3-D形貌圖:測量臺有旋轉(zhuǎn)功能,可通過控制軟件中的參數(shù)輸入來旋轉(zhuǎn)測量臺,以完成形貌圖的測量(至少需要測量6個方向的掃描)

* 測量的硅晶圓尺寸: 200mm

* 應(yīng)力測量的范圍:1X107 dynes/cm2 4X1010 dynes/cm2(對于典型的硅晶圓)

* 測量數(shù)據(jù)輸出:測量數(shù)據(jù)表格為客戶提供的參數(shù)包括,料盒的編號、晶圓的編號、測量次數(shù)的編號、應(yīng)力數(shù)值、晶圓曲率半徑的數(shù)值、晶圓基片的厚度和鍍膜的厚度,以及測量時間。測量數(shù)據(jù)可選擇輸出為Excel格式,文本文檔格式,同時可以輸出樣品形貌圖

* 客戶包括Intel,Samsung,LG IBM等。

有任何需要賽倫科技(上海,北京都有辦事處)

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FSM128非接觸薄膜應(yīng)力測試

賽倫科技

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