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微波等離子設備

微波等離子設備

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南京三樂微波技術發展有限公司

江蘇

產品規格型號
參考報價:

面議

品牌:

三樂微波

型號:

微波等離子設備

關注度:

1343

產品介紹

一、裝備介紹


  微波等離子體設備是在常壓或低真空情況下,通過微波等離子發生器對反應腔內工藝氣體,施加微波電磁能量,使氣體產生等離子體,對氣體進行熱解和高度電離,同時特殊氣體經過等離子電離后,利用等離子的特性,作用于產品表面,提高表面活性,增加附著性能的目的。微波等離子體設備操作簡單、安全可靠、自動化程度較高。


二、特點


1、一定條件下,能使尾氣高度電離和離解,設備安全可靠;

2、等離子設備氣壓范圍內較寬,可獲得氣體的等離子化;

3、無內部電極,消除氣體污染和電極腐蝕;

4、氣體微波等離子體化產生不帶高壓,微波輻射易防護;

5、設備自動點火,操作簡單、安全可靠;

6、氣體參數變化范圍較大,為廣泛應用提供可能性。


三、應用


1、微波等離子火炬技術,應用于工業尾氣的處理,及材料高溫燒結;

2、微波等離子體化學氣相沉積(MPECVD):制備單晶、多晶金剛石,制備SiC、寶石、切削刀具等;


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