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TFC-6500B化學(xué)氣相沉積（MPCVD）設(shè)備

TFC-6500B

直接聯(lián)系

碳方程半導(dǎo)體設(shè)備制造（山西）有限公司

山西

產(chǎn)品規(guī)格型號
參考報價：

面議

品牌：

碳方程

型號：

TFC-6500B

關(guān)注度：

969

產(chǎn)品介紹

TFC-6500B，微波等離子體化學(xué)氣相沉積（MPCVD）設(shè)備是***的 CVD 系統(tǒng)。針對用戶的具體要求設(shè)計和研制的一臺多用途、高穩(wěn)定中等壓強微 波等離子體（MPCVD）綜合設(shè)備。

產(chǎn)品特性

* 高純高真空不銹鋼腔體(無硅污染 )

★ 可95%功率高效穩(wěn)定運行

★可單次生產(chǎn)7*7 mm單晶毛坯21粒

★ 水冷卻腔體(無風(fēng)冷噪音)

★ 可均勻生產(chǎn)2 inc多晶

★ 產(chǎn)品凈度等級可達VVS級

*生長機臺可自動調(diào)節(jié)范圍達15MM


產(chǎn)品咨詢

TFC-6500B化學(xué)氣相沉積（MPCVD）設(shè)備

TFC-6500B

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