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特 征:

● 模式：直接浸泡式等離子清洗可以高速刻蝕和表面改性；

遠(yuǎn)程等離子體可以輕微的清除表面污染，如SEM/TEM樣 品清洗

● 操作：自動(dòng)配方執(zhí)行；自動(dòng)作業(yè)順序執(zhí)行；亦手動(dòng)控制

● 等離子傳感器：雙等離子強(qiáng)度傳感器（**申請(qǐng)中）實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)

等離子源和遠(yuǎn)程等離子源且等離子強(qiáng)度實(shí)時(shí)顯示LCD觸摸屏上

● 先進(jìn)工藝控制：壓力傳感器、溫度傳感器、MFC氣體流量計(jì)、雙等離子強(qiáng)度傳感器、自動(dòng)阻抗匹配

● 腔體材料：鋁法蘭，石英腔體

● 石英腔體尺寸：內(nèi)徑：110mm；深280mm

● 樣品架：2mm厚高純度石英板

● 射頻天線：外部射頻電極和天線設(shè)計(jì)減少了內(nèi)部金屬電極 在等離子清洗機(jī)中發(fā)現(xiàn)的金屬濺射問題

● 射頻功率：13.56mhz射頻電源，自動(dòng)阻抗匹配

射頻功率有兩種選擇：0-75watt和0-150watt

● 工藝氣路：高達(dá)三個(gè)MFC氣路

● 用戶界面：7寸電阻式觸摸屏

● 軟件：總共20個(gè)可定制的配方。每個(gè)工藝多達(dá)三個(gè)步驟