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全自動8吋減薄機

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江蘇元夫半導體科技有限公司

江蘇

產品規格型號

參考報價：

面議

品牌：

江蘇元夫

型號：

全自動8吋減薄機

關注度：

343

產品介紹

設備特點

采用兩個主軸，三個工作臺的全自動研磨機，4/5/6/8吋晶圓加工可兼容

Si、SiC等研磨材料均能滿足

為實現高品質研磨加工，主機搭載高功率輸出、高剛性、低振動空氣電主軸；工作臺主軸亦搭載高剛性、低振動、低熱膨脹、回轉精度高的的空氣軸承

配置接觸式測厚模塊，實現閉環系統控制

搭配自主研制的250mm磨輪，有效去除晶圓磨削應力，減少表面損傷，保證芯片強度

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全自動8吋減薄機

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