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桌面型鋁合金腔體單靶磁控濺射鍍膜儀
面議
成 越
桌面型鋁合金腔體單靶磁控濺射鍍膜儀
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簡單介紹:
桌面型鋁合金腔體單靶磁控濺射鍍膜儀是一種緊湊型鍍膜設備,采用磁控濺射技術在基片表面沉積薄膜
詳情介紹:
桌面型鋁合金腔體單靶磁控濺射鍍膜儀是一種緊湊型鍍膜設備,采用磁控濺射技術在基片表面沉積薄膜。其核心特點包括:
鋁合金真空腔體:輕量化設計,耐腐蝕性好,適合實驗室或小規模生產環境。
單靶配置:支持單一靶材(如金屬、合金或氧化物),結構簡單,操作便捷。
磁控濺射技術:利用磁場約束等離子體,提高濺射效率,形成均勻、致密的薄膜。
桌面設計:體積小巧,適合科研院所、高校實驗室等空間有限的場所。
應用領域:
該設備廣泛用于材料科學、光學、電子等領域,具體包括:
光學薄膜:如增透膜、反射膜、濾光片等。
電子器件:半導體電極、導電薄膜(如ITO)、傳感器涂層。
功能材料:耐磨涂層(如TiN)、防腐涂層、超硬薄膜(類金剛石)。
科研實驗:新材料開發、薄膜性能測試、教學演示等。
磁控濺射鍍膜儀技術參數:
產品名稱 | 桌面型鋁合金腔體單靶磁控濺射鍍膜儀 | |
產品型號 | CY-MSZ200-I-DC-AL | |
樣品臺 | 外形尺寸 | φ50mm |
旋轉 | 自轉+公轉角度傾斜2英寸 | |
可調轉速 | ≦20rpm | |
磁控靶槍 | 配一支兩英寸磁控靶,靶材尺寸:直徑50.8mm,厚度≦3mm | |
真空腔體 | 腔體尺寸 | φ180mm X 150mm |
腔體材料 | 鋁合金 | |
開啟方式 | 上蓋拆卸式 | |
真空系統 | 真空測量 | 復合真空計,量程:10-5~105Pa |
抽氣接口 | KF25 | |
系統真空 | 1.0E-1Pa(機械泵) | |
供電電源 | AC 220V 50/60Hz | |
輸出功率 | 直流電源500W | |
其他參數 | 供電電壓 | AC220V,50Hz |
整機功率 | 2kW | |
重 量 | 30kg | |
整機尺寸 | 385X450X420mm |
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