粉體行業在線展覽
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PECVD管式爐
直接聯系
武漢普迪真空科技有限公司
湖北
面議
普迪真空
PECVD管式爐
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產品摘要
該設備是由滑動開啟式真空管式爐，混氣系統，真空及壓力系統等組成。燒結溫度可達到1200°，通過滑動爐體來實現快速升降溫，可以通過配置不同的真空系統來達到理想的真空度，同時可以通過多路高精度質量流量計來控制不同的氣體。
產品介紹
★爐體結構：日本技術真空吸附成型的優質高純氧化鋁多晶纖維固化爐膛，保溫性能好，支撐兩端安裝油壓緩沖器爐蓋可開啟，可以實時觀察加熱的物料
★電源：AC220V,50/60HZ 功率:4KW
★爐管：高純石英管尺寸：φ 40/60/80/100*1200mm
★加熱系統：加熱區長度440MM 恒溫區長度200mm 工作溫度≤1150° **溫度1200° 升溫速率10°/min
★溫控系統：溫度控制采用人工智能調節技術具有PID調節，自整定功能30段升降溫程序
★混氣系統：多路質量流量計數字顯示氣體流量自動控制。流量規格：0-1SLM 流量精度±1.5％
★真空度：真空度可達（5E﹣01）torr
★可選配件：混氣系統中、高真空系統，各種剛玉、石英坩堝，石英管，計算機控制軟件，氧含量分析儀等
PD-600Q射頻等離子清洗機
PD-500/600電子束真空蒸鍍設備
PD-400高真空蒸鍍設備
PD-400C高真空磁控濺射
PD-400S/450S高真空蒸鍍設備(手套箱）
PD-450CS/550CS高真空磁控濺射設備
ALD-100原子沉積設備
PD-500S/800S高真空蒸發蒸鍍設備
PD-60/80MP微波等離子體化學氣相沉積設備
PD-450/600H熱絲化學氣相沉積設備
PD-450/650Z直流等離子噴射化學氣相沉積設備
PD-500C/600C磁控濺射鍍膜設備
RLY 系列
HTRH，HTRV
管式爐
馳順TF-1200型旋轉管式爐
RTO蓄熱式焚燒爐
RLY系列燃油熱風爐
OTL1200、KTL1400、KTL1600、KTL1700
OTF-1200X-25-60
略
ZHK-B02123K-200
YCVD-1706
TCGKD203-11/TCGKD204-11/TCGKD415-12TCGKD412-12/TCGKD410-12/T
