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產品摘要

該系列設備為鈣鈦礦太陽能電池、OLED、鋰電池、量子點LED、OPV等產業研發專用設備，設備可工藝制備納米級氧化物、氮化物、金屬等薄膜材料。該濺射系統對接手套箱系統實現全制備過程在無水無氧手套箱環境下進行。PVD與Glove box硬件無縫對接，操控融合一體，實現試驗樣品在真空手套箱環境中完成旋涂、濺射、測試等工藝流程。

產品介紹

設備特點：

★系統可選擇配備低氣壓濺射技術，制備薄膜致密，對基底損傷小

★J濺射腔體采用SUS304不銹鋼材料，腔體內表面包括屏蔽板全部鏡面拋光，可以獲得潔凈的工作環境和良好的真空度

★西門子PLC+觸摸屏手自動控制或電腦+PLC全自動控制可選

設備參數：

★腔體尺寸（L×W×Hmm)：1500×850×1900/1500×850×1900

★設備尺寸（L×W×Hmm)：440×440×450/550×440×450

★基片臺：**溫度 500℃ 控溫誤差±1℃

★真空極限：（2E﹣05）Pa

★抽速保壓：（8E﹣04）Pa≤20min保壓12小時≤5pa     

★托盤均勻性優于±3％~±5%

★濺射靶可選取矩形靶（210mm×210mm/300mm×300mm）和圓形靶濺射尺寸