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WG-6110自動減薄機

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北京中電科電子裝備有限公司

北京

產品規格型號

參考報價：

面議

品牌：

中電科

型號：

WG-6110自動減薄機

關注度：

125

產品介紹

技術特點
　　●同時支持深切緩進給(Creep- -Feed)和軸向進給(In- Feed)磨削原理;
　　●可選配全自動上下料系統，設備可由自動減薄設備變為全自動減薄設備;
　　●GPP行業應用優勢明顯;
　　●高加工效率，4英寸GPP用硅晶圓UPH可達360pcs/h;
　　●節省空間的設計，占地面積僅為1.01m,兼顧小型化及高性能比。.
性能指標

自動減薄機		WG-6110
**加工物尺寸		Φ156mm
主軸	主軸數量	1
	輸出功率	7.5kW
	轉速	1000-6000rpm
Z軸	行程	120mm
	進給速度	0.00001 ~0.08mm/s
	**返回速度	50mm/s
	分辨率	0.1pm
承片臺數量		4 (可定制)
工作臺轉速		0-20rpm
減薄精度	片內厚度偏差	<5μm
	片間厚度偏差	<±5μm
	表面粗糙度Ra	<0.2μm (2000#Grinding wheel, Si)
測量儀	測量范圍	不適用
	分辨率
	重復精度
其他規格	夕卜形尺寸(WxDxH)	750mmx1350mmx1750mm
其他規格	設備重量	≈2000 kg

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WG-6110自動減薄機

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