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WG-1281全自動減薄機(jī)
面議
中電科
WG-1281全自動減薄機(jī)
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技術(shù)特點(diǎn)
●使用 CCD 相機(jī)的非接觸式晶圓定心機(jī)構(gòu),優(yōu)化加工點(diǎn)布局實(shí)現(xiàn)高精度磨削;自動調(diào)整承片臺傾斜角,有效減少校正停機(jī)時(shí)間;
●雙主軸三工位全自動減薄機(jī),磨削時(shí)不對外圓周施加負(fù)荷,能有效降低晶圓翹曲,提高晶圓強(qiáng)度,降低碎片率,提高晶圓處理的便利性。具備 SECS/GEM 聯(lián)網(wǎng)功能。采用霧化噴嘴技術(shù)能夠?qū)崿F(xiàn)強(qiáng)力清潔。
性能指標(biāo)
HP-1221全自動劃片機(jī)
HP-1201自動劃片機(jī)
HP-802自動劃片機(jī)
HP-6103自動劃片機(jī)
HP-6100自動劃片機(jī)
JHQ-410系列激光劃片機(jī)
HP-802C自動劃片機(jī)
HP-6103/6100自動劃片機(jī)
WP-301D晶片雙面研磨機(jī)
WP-4300精密研磨機(jī)
WG-1230自動減薄機(jī)
WG-1261全自動減薄機(jī)
熱絲CVD金剛石膜沉積設(shè)備HF450
XRD-晶向定位
CVD 真空化學(xué)氣相沉積設(shè)備
等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)CVD
BTF-1200C-RTP-CVD
自動劃片機(jī)
FM-W-PDS
Gasboard-2060
等離子化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)-PECVD
Pentagon Qlll
定制-電漿輔助化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)-詳情15345079037