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>自動(dòng)晶圓減薄機(jī)

自動(dòng)晶圓減薄機(jī)

ZM9230

直接聯(lián)系

寧波丞達(dá)精機(jī)股份有限公司

浙江

產(chǎn)品規(guī)格型號(hào)
參考報(bào)價(jià)：

面議

型號(hào)：

ZM9230

關(guān)注度：

39

產(chǎn)品介紹

設(shè)備介紹

單軸單工位的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)

可適用大部分的晶圓加工要求，兼顧整面磨削和留邊磨削




產(chǎn)品詳情

主要參數(shù)


規(guī)格

單位

技術(shù)指標(biāo)

工件直徑

mm

?150 / ?300

磨削方式


整面磨削 / 留邊磨削

金剛石砂輪（兼容DISCO砂輪）

mm

?300

砂輪軸數(shù)量


1

砂輪軸功率

kW

7.5

砂輪軸轉(zhuǎn)速

r/min

1000~4000

Z軸行程

mm

120

Z軸磨削進(jìn)給速度

mm/s

0.0001~0.08

Z軸*小進(jìn)給量

μm

0.1

硅片厚度測量范圍

μm

0~1800

厚度測量分辨率

μm

0.1

夾持方式


多孔真空吸盤

工件軸數(shù)量


1

工件軸轉(zhuǎn)速

r/min

10~300

磨削后TTV

μm

1.5

磨削后片間厚度偏差

μm

±3

精磨后表面粗糙度

Ra

10nm

外形尺寸（W × D × H）

mm

850×1760×1900

整機(jī)凈重

kg

2200


產(chǎn)品咨詢

自動(dòng)晶圓減薄機(jī)

ZM9230

請(qǐng)?zhí)顚懩男彰?

請(qǐng)?zhí)顚懩碾娫挘?

請(qǐng)?zhí)顚懩泥]箱：*

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自動(dòng)晶圓減薄機(jī) - 39
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