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第三代半導體材料減薄設備

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浙江芯暉裝備技術有限公司

浙江

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品牌：

芯暉裝備

型號：

第三代半導體材料減薄設備

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技術參數

基本規格	· 尺寸： 2.99 米（長）x1.42 米（寬）x1.98 米（高） · 重量：8 噸
設備構成	· Loading Port（2sets） · 剛性主軸（2sets） · Chuck table（3sets） · 背膜清洗單元 · 搬送單元（Robot）
**加工尺寸	· φ 200mm（同時兼容4”、6”、8”）
加工方式	· 干進，干出
加工能力	· 同時高效加工2 片
生產能力	· ≥ 6 wafers /h

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第三代半導體材料減薄設備

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技術參數

基本規格

· 尺寸： 2.99 米（長）x1.42 米（寬）x1.98 米（高）

· 重量：8 噸

設備構成

· Loading Port（2sets）

· 剛性主軸（2sets）

· Chuck table（3sets）

· 背膜清洗單元

· 搬送單元（Robot）

**加工尺寸

· φ 200mm（同時兼容4”、6”、8”）

加工方式

· 干進，干出

加工能力

· 同時高效加工2 片

生產能力

· ≥ 6 wafers /h