粉體行業(yè)在線展覽
PRISMO D-BLUE?MOCVD設(shè)備
面議
中微公司
PRISMO D-BLUE?MOCVD設(shè)備
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中微具有自主知識產(chǎn)權(quán)的MOCVD設(shè)備可配置多達(dá)4個反應(yīng)腔,可以同時加工232片2英寸晶片或56片4英寸晶片,工藝能力還能延展到生長6英寸和8英寸外延晶片。每個反應(yīng)腔都可以獨立控制,這一設(shè)計可以實現(xiàn)優(yōu)異的生產(chǎn)靈活性。PRISMO D-BLUE?是首臺被主流LED生產(chǎn)線采用并進行大批量LED和功率器件外延片生產(chǎn)的國產(chǎn)MOCVD設(shè)備。 首臺被主流LED生產(chǎn)線采用并進行大批量LED外延片生產(chǎn)的國產(chǎn)MOCVD設(shè)備PRISMO D-BLUE?
可獨立控制的反應(yīng)腔運行模式 自主的實時監(jiān)控系統(tǒng) 精準(zhǔn)的參數(shù)控制 全自動化處理 符合半導(dǎo)體標(biāo)準(zhǔn)的軟件控制系統(tǒng) 競爭優(yōu)勢產(chǎn)品特點
優(yōu)異的工藝重復(fù)性,簡化工藝調(diào)整需求,提高產(chǎn)品良率 19英寸大尺寸托盤極大地提高了設(shè)備單位產(chǎn)能,降低了生產(chǎn)成本 集成頂蓋升降機構(gòu),簡化設(shè)備維護,提高設(shè)備利用率 符合SEMI S2安全標(biāo)準(zhǔn),提升設(shè)備的安全性能
Plasma Scrubber等離子式廢氣處理設(shè)備
VOC凈化設(shè)備
Preforma Uniflex? CW
PRISMO UniMax? MOCVD設(shè)備
PRISMO HiT3? MOCVD設(shè)備
PRISMO A7? MOCVD設(shè)備
PRISMO D-BLUE?MOCVD設(shè)備
Primo Twin-Star? 12 英寸刻蝕設(shè)備
Primo nanova?12英寸刻蝕設(shè)備
Primo TSV? 高性能、高產(chǎn)能的深硅刻蝕設(shè)備
Primo HD-RIE?新一代電介質(zhì)刻蝕產(chǎn)品
Primo iDEA?雙反應(yīng)臺刻蝕除膠一體機
熱絲CVD金剛石膜沉積設(shè)備HF450
XRD-晶向定位
CVD 真空化學(xué)氣相沉積設(shè)備
等離子體增強化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)CVD
自動劃片機
BTF-1200C-RTP-CVD
FM-W-PDS
Gasboard-2060
等離子化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)-PECVD
Pentagon Qlll
定制-電漿輔助化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)-詳情15345079037