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Plasma Scrubber等離子式廢氣處理設備

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中微半導體設備（上海）股份有限公司

上海

產品規格型號

參考報價：

面議

品牌：

中微公司

型號：

Plasma Scrubber等離子式廢氣處理設備

關注度：

產品介紹

本設備用于處理半導體光伏面板等行業生產制程中都會產生的大量易燃劇毒有害氣體，廢氣通過真空管進入設備后在反應腔內被分解成無害成分，經過水淋和顆粒捕捉后能達到安全的排放標準。

本設備通過等離子發生器結合氮氣產生等離子火焰，該火焰能量集中，適合分解易燃易爆劇毒及溫室氣體。設備設計有專用的粉塵沖洗式反應腔，有效防止腔體腐爛和堵塞。

產品特點

設備占地面積小、便于安裝

不需要燃氣等化石燃料（僅用氮氣），減碳節能

SiH4、H2、PH3 CF4 SF6 等泛光伏半導體特氣處理效率高

開關機速度快，不需要長時間等待加熱和散熱

安全性能好，靈活互備

競爭優勢

自研發穩定便于維護的火炬，縮短安裝時間

反應腔采用粉塵沖洗設計

入口管采用新型防堵方案，PM周期長

可根據客戶需求，提供定制化服務

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Plasma Scrubber等離子式廢氣處理設備

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