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原子層沉積(ALD)鍍膜機(jī)
面議
匯成真空
原子層沉積(ALD)鍍膜機(jī)
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原子層沉積(Atomic Layer Deposition, ALD)是通過(guò)氣相前驅(qū)體及反應(yīng)物脈沖交替的通入反應(yīng)腔并在基底上發(fā)生表面化學(xué)反應(yīng)形成薄膜的一種方法,通過(guò)自限制性的前驅(qū)體交替飽和反應(yīng)獲得厚度、組分、形貌及結(jié)構(gòu)在納米尺度上高度可控的薄膜。
ALD設(shè)備提供創(chuàng)新和靈活的設(shè)計(jì),為MEMS和復(fù)雜的3D表面沉積高質(zhì)量的光學(xué)薄膜,顯著提高鍍膜產(chǎn)品的性能和使用壽命,設(shè)備運(yùn)行速度快、可靠性高且極易維護(hù)。
特點(diǎn):
?熱法原子層沉積(TALD)和等離子增強(qiáng)原子層沉積(PEALD)可選
?批量鍍膜加工(基材尺寸:8",10",12")
?低溫工藝,塑料基材可鍍
?3D表面鍍膜高保形性
?薄膜均勻、光滑、致密、無(wú)針孔
?膜厚精確控制
型號(hào) | HC-ALD10 |
真空室 | Φ800 x H1300mm |
成膜室 | Φ350 x H1000mm |
成膜室抽速 | 8.0×10-2Pa≤25min |
成膜室極限真空度 | 8.0×10-4Pa |
沉積溫度 | Max. 130℃ |
基片架 | 10"×48pcs |
等離子源 | RF 等離子體源 |
前驅(qū)體供給源 | 前驅(qū)體源瓶、ALD 閥門(mén)、前驅(qū)體(BDEAS、TMA等) |
排氣系統(tǒng) | 干泵 + 低溫泵 |
熱絲CVD金剛石膜沉積設(shè)備HF450
XRD-晶向定位
CVD 真空化學(xué)氣相沉積設(shè)備
等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)CVD
BTF-1200C-RTP-CVD
自動(dòng)劃片機(jī)
FM-W-PDS
Gasboard-2060
等離子化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)-PECVD
Pentagon Qlll
定制-電漿輔助化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)-詳情15345079037