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低壓化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)(LPCVD)

直接聯(lián)系

上海載德半導(dǎo)體技術(shù)有限公司

韓國

產(chǎn)品規(guī)格型號
參考報價:

面議

關(guān)注度:

1285

產(chǎn)品介紹

擴(kuò)散爐、低壓化學(xué)氣相沉積設(shè)備(LPCVD)

產(chǎn)地:韓國;

有單管和雙管兩個不同的型號,用于科研或者小規(guī)模生產(chǎn)。

性能和特點:

- 溫度范圍:500 ~ 1000攝氏度;

- 氣體混合能力(帶有質(zhì)量流量計);

- 真空范圍:~ 10-6 Torr;

典型應(yīng)用:

- 無應(yīng)力氮化硅;

- LPCVD;

- 退火;

- 氧化;

- 其他...

產(chǎn)品咨詢

低壓化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)(LPCVD)

上海載德半導(dǎo)體技術(shù)有限公司

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