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微波等離子體輔助原子層沉積系統

定制-微波等離子體輔助原子層沉積系統

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廈門毅睿科技有限公司

中國

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面議

品牌:

毅睿/芯壹方

型號:

定制-微波等離子體輔助原子層沉積系統

關注度:

341

產品介紹

微波等離子體輔助原子層沉積系統




Description:

●微波頻率:2.45±0.025 GHz

微波功率:≥3 KW連續可調

可實現 <+/-3% 的均勻沉積

氣體:SiH4,NH3, N2O, Ar, N2, CF4,O2...

極限壓力:≤1X10-3 Torr

尺寸:8英寸晶圓

用途:SiO2,SixNx...etc.,

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微波等離子體輔助原子層沉積系統

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