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全自動高剛性雙軸減薄機

CMG3200

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江蘇優普納科技有限公司

江蘇

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CMG3200

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100

產品介紹

全自動高剛性雙軸減薄機是一款集成清洗干燥、精密測量、自動裝夾與智能磨削于一體的自動化設備。主要用于對半導體、光學材料、陶瓷以及硬脆材料進行減薄加工。該設備結合了自動化技術和高剛性磨削系統,旨在提升生產效率和加工質量,以滿足智能制造的高要求、高效率、高穩定。


項目技術參數
主要加工材料       SiC、Si等硬脆材料     
加工晶圓尺寸6/8英寸
砂輪直徑254mm
磨削主軸轉速4000rpm
磨削主軸功率       8.5KW   
片內厚度偏差TTV2μm
片間厚度偏差WTW3μm
表面粗糙度Ra2nm
占地面積L2000*W500*H2480
重量約6000KG


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全自動高剛性雙軸減薄機

CMG3200

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